Critical Materials
basan – the cleanroom division of VWR ist offizieller Handelspartner für ausgewählte Kunden von Entegris in Europa, auf der Arabischen Halbinsel und in Nordafrika.
Die Produktpalette von Entegris erstreckt sich über die Reinigung, den Schutz und den Transport kritischer Materialien, die in der Herstellung und Weiterverarbeitung in der Halbleiterindustrie und anderen Hightech-Industrien verwendet werden, z. B. Transportbehälter, Single Wafer Trays, Aufbewahrungsboxen, Gasfilter und Gaspurifier.
Filtration
Zur Kontrolle von Verunreinigungen in Flüssigkeiten-, Luft- und Gas-Prozessketten
Handhabung von Flüssigkeiten
Lösungen für spezielle Anforderungen wie hohe Temperaturen, auslaufsichere Leistung, hohe Durchflussrate, verringerte Stellfläche, präzise Steuerung und Messung von Prozessflüssigkeiten.
Handhabung von IC-Bauteilen
Die Schutzsysteme für die Handhabung von Bauteilen umfassen Nacktchipträger, horizontal zu befüllende Wafertransportboxen und Folienrahmen-Produkte zur Gewährleistung der Integrität von wertvollen mikroelektronischen Bauteilen.
Aufreinigung
Produkte zur täglichen Verbesserung der Prozessausbeuten für Kunden durch Verwendung von Aufreinigungsmethoden.
Wafer-/Reticle-Handling
Zuverlässige und innovative Lösungen für die Handhabung von Wafern und Reticles.