Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Mini XL

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Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Mini XL
Filter Gasfilter
Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Sie können sie in Gasverteilern und Gaskabinetten verwenden, wo Reinstgas für die Waferverarbeitung erforderlich ist.

  • Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
  • Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
  • Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
  • PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration

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