Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro

Lieferant: ENTEGRIS INC
WG2FT1RF2 WG2FT1RR2 WG2FT1SS2 WGFG01RH2 WG2FT1BW2
ENTEWG2FT1RF2EA 0 CHF
ENTEWG2FT1RF2 ENTEWG2FT1RR2 ENTEWG2FT1SS2 ENTEWGFG01RH2 ENTEWG2FT1BW2
Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro
Filter Gasfilter
Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Ihr kompakter Durchmesser ermöglicht eine einfache Installation in engen Gasverteilern und -kabinetten.

  • Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
  • Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
  • Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
  • PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration

Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl

Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Prozesswerkzeuge für den Innenbereich.

Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm

Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit
Order Now

Learn more

About VWR

Avantor is a vertically integrated, global supplier of discovery-to-delivery solutions for...

Mehr About VWR