Prozess-Waferträger zum Handling von 150 mm-Wafern, Serien 182/190/182

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A182-60MU-0215 A190-60M-0215 A182-60MB-0215 A194-60MB-0215 A190-60MB-0215 A182-60M-0215 A190-60MH-0215 A182-60MC-0215 A18260MBH0215
216-2062EA 0 CHF
216-2062 216-1575 216-1573 216-2065 216-2063 216-2059 216-2064 216-2061 216-2060
Prozess-Waferträger zum Handling von 150 mm-Wafern, Serien 182/190/182
Wafer-Handling-Zubehör Wafer-Carrier
Serie 182
Branchenübliche 150-mm-Prozesswafer-Träger. Vierpunktauflage auf dem „H“-Profil für verbesserte Wafer-Positionierung. Offenes Seitenwand-Design um Flüssigkeitsfallen zu verhindern und die gleichmäßige Bedeckung mit und den Ablauf von der Lösung zu begünstigen. Hohe Form für maximalen Schutz von Wafern.

'H' bar equipment interface
Pins and holes on the top rail
Chemical resistant natural PFA material
Wafer capacity: 25
D1 dimension: 14,5 mm
Pocket spacing: 4,8 mm
Pocket flat: 1,5 mm

190 Serie
Flache Form für optimale Leistung in Zentrifugenanwendungen. Niedrige Kontur für einMore Product Information
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